具有作为抗反射层之空气薄膜、波束分离器及面镜的平面波导

摘要

本发明系揭露包括一穿过各段的波导之积集结构，其中波导进一步包括一波导中面镜、一波束分离器或一抗反射元件。波导中面镜、波束分离器或抗反射元件系利用经过波导之一或多个经聚焦离子波束(FIB)切割或开缝所形成。用于面镜、波束分离器及抗反射元件之切割或开缝皆具有高的尺寸比。面镜系包括一个延伸过核心而垂直于核心的一轴线之开缝；波束分离器系包括相对于核心的一轴线以一角度延伸过核心之单一开缝；而抗反射元件系包括延伸过核心而垂直于核心的一轴线之一对隔开的开缝。