用于使用溶液为主先质以供原子层沉积之方法及装置

摘要

本发明提供一种具有特殊ALD操作之溶液稳定化作用及传递技术之独特组合。使用许多溶解于溶剂中之低挥发性固体ALD先质。不稳定溶质可在溶液中稳定且可在室温下传递所有该等溶液。在该等溶液汽化后，该等气相先质及溶剂系以脉冲方式输送入沉积腔室中以确保真正的ALD膜生长。