电浆表面处理装置

摘要

本发明为一种电浆表面处理装置，其装置包含具阳极炉壁之真空炉、电浆电源、阴极金属网、冷却水装置及工件偏压电源。其装置可于低温活化处理非金属、高分子类或纺织品等工件表面，亦可于高温氮化处理金属或合金金属之工件表面，改善放电损耗、中空效应及不均温之缺点，达到提升工件表面之机械性质及活性、增加工件复合制程之附着力及工件之使用寿命。