图案化制程

摘要

一种图案化制程，其中包含对一物质之一或更多区域施加压力及自此移除压力，以转换该物质之一或更多区域的相，该等经转换之一或更多区域具有代表一预定图案的个别预定形状。可利用该图案化制程以按各物质构成奈米刻度之图案，而无须使用光阻或传统光学或电子束微蚀印，从而避免该等技术之限制。