研磨垫

摘要

本发明之目的系提供一种不易于研磨对象物的表面产生刮痕，且平坦化特性优异之研磨垫。又，本发明之目的系提供一种具有高研磨速度且平坦化特性优异之研磨垫。另外，本发明之目的系提供一种研磨粒及研磨屑不易于研磨中堵塞于沟，即使长时间连续使用时研磨速度亦不易下降之研磨垫。本发明之研磨垫系包含由具有微细气泡的聚胺基甲酸酯树脂发泡体构成之研磨层。