以多次曝光印刷光刻影像的方法及系统

摘要

揭露将即将被印刷的设计分成两个或多个曝光之系统与方法，各个曝光具有至少最小的间距。同时，这些多次曝光可印刷无法于单独一次的曝光中被印刷的设计。