光学元件、使用其之曝光装置、曝光方法及微元件之制造方法

摘要

光学元件，具备：基材，设于该基材表面至少一部分的拨液构件，以及设于该基材与该减光构件之间，以进行光之减光来从光之照射保护拨液构件的减光构件。光学元件，系使用于透过液体来使基板曝光之液浸曝光装置。能防止液浸区域内之液体通过光学元件侵入预期外之位置。