| 摘要 |
一种流量控制器之绝对流量的校正系统，为了可利用处理气体校正流量控制器之高精度的绝对流量，具有：排气流路31，将第一切断阀21及第二切断阀22之间的气体流路30和真空泵14之入口连通；第三切断阀23、压力感测器11、温度感测器12、以及第四切断阀24，设置于排气流路31；及校正用控制装置，连接那些元件，并记忆气体种类固有之压缩因子资料、及由质量流量控制器10的出口、第二切断阀22、及第四切断阀24所形成之既定的空间之容积值；从在第一量测时之压力P1、温度T1、与压力P1和温度T1对应之第一压缩因子Z1、及容积V求得质量G1；从在第二量测时之压力P2、温度T2、与压力P2和温度T2对应之第二压缩因子Z2、及容积V求得质量G2；根据质量G1和质量G2之差，校正质量流量控制器10的绝对流量。 |
