制造奈米结构之方法及装置

摘要

本发明揭示一种制造奈米结构之方法，该方法包括下列步骤：将包含奈米结构成分之气体输送至一个或多个中空阴极反应器中以形成奈米结构，收集该等奈米结构并然后藉由使排出气体连同一氧化气体一起通过一个或多个中空阴极反应器而自排出气体中去除副产物。