溅镀装置、透明导电膜之制造方法

摘要

形成一种电阻值小，透过率高，对下层之有机EL膜不造成伤害之透明导电膜。在平行隔开有间隔而配置之第1、第2的标靶21a、21b之间隙，与成膜对象物5之搬送路径14之间设置遮蔽板31，使通过形成于遮蔽板31之放出孔32的溅镀粒子到达成膜对象物5。倾斜射入之溅镀粒子系被遮蔽板31所遮蔽，而形成低电阻，高透过率之透明导电膜。