| 摘要 |
本发明在于提供一种图案形成方法，其系于完成使光调变手段予以倾斜后进行描绘之曝光的图案形成方法中，藉由不使曝光速度降低，形成抑制感光层被曝光面上抖动发生之所要求的描绘图案，可以高精细且有效形成配线图案等永久图案。因此，提供一种图案形成方法，其系藉由根据描绘像素部所形成的描绘像素而予以再现，使所生成的抖动之抖动间距与抖动振幅之至少任一种成为既定值以下之方式来设定描绘像素之配列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)与相位差(d)之至少任一种，根据该图案资讯而于既定之时点调变控制该描绘像素部所进行的。 |
