氧化铟-氧化锡粉末及使用该粉末之溅镀靶,以及氧化铟-氧化锡粉末之制造方法

摘要

本发明系提供可以延长靶之寿命，又可以得到高密度溅镀靶之氧化铟-氧化锡粉末，及使用该粉末之溅镀靶，以及氧化铟-氧化锡粉末之制造方法。本发明系以In-Sn氧化物为主成分之氧化铟-氧化锡粉末，其特征为碳含有量在50 ppm以下者。