| 摘要 |
本发明揭示一种装置(100)，该装置(100)包含一半导体材料基板(10)及一微机电(MEMS)元件(50)，该基板(10)具有一第一及一相对第二表面(1、2)，该MEMS元件(50)具有一固定及一活动电极(52、51)，该活动电极(51)存在于一腔(30)中。该等电极(51、52)中之一者界定于该基板(10)中。该活动电极(51)可在一第一间隙位置与一第二位置之间移动靠近及远离该固定电极(52)。该腔(30)经由该基板(10)中之孔(18)打开，该等孔(18)在该基板(10)之第二表面(2)上曝露。该腔(30)具有一由该基板(10)中之至少一柱(15)所界定之高度，该柱(15)大体上横向环绕该腔(30)。 |
