| 摘要 |
本发明系提供官能基浓度高，在宽广的波长区域具有高透明性之含氟聚合物及其制造方法，以及使用该含氟聚合物之光阻组成物。其为具有，来自下述式(1)所示含氟二烯进行环化聚合所成单体单位的单位，和来自具有特定构造之丙烯酸系单体聚合所成单体单位的单位，之含氟共聚物。CF2=CFCH2CH(C(CF3)2(OR3))(CH2)nCR1=CHR2(1)但是，式(1)中R1及R2系各自独立，表示氢原子或碳数12以下之烷基。R3系氢原子，碳数20以下之烷基，碳数15以下之烷氧羰基或CH2R4(R4为碳数15以下之烷氧羰基)，构成R3之烷基，烷氧羰基及R4，其氢原子之一部分或全部可以氟原子取代，可具有醚性氧原子。n表示0~2之整数. |
