可控型靶材冷却装置及方法

摘要

一溅镀靶材构件(18、20)特别适用于大面板电浆溅镀反应器，具有一同时密接于主制程室(14)与放置可移动式磁电管(30)之真空抽吸室(32)的靶材构件。与靶材部片结合之靶材构件包括一整合板(62)及平行主面之冷却钻孔(64)。孔洞末端予以密封(74)，而垂直延伸之狭缝(66、68、70、72)分为两组并交错排列在各侧、且往下制作到背板相对侧边上的各对冷却孔。四个歧管(104、106)密接于四组狭缝，并且提供冷却剂反向流动的路径。