溅镀靶之制造方法

摘要

本发明系提供可以延长镀靶寿命，又，可以得到高密度之溅镀靶的溅镀靶制造方法。本发明系将由含有氧化铟粉末及氧化锡粉末之混合粉末所成之原料粉末，经锻烧(burning)以制造溅镀靶之际，至少先将氧化铟在1100℃至1300℃中预锻烧而作成原料之混合粉末，并将此混合粉末在比先前预锻烧之温度高出150℃以上之高温中锻烧。