测试电子元件的装置

摘要

本发明描述用于未经单一化之晶圆之微电子电路的预烧及/或功能测试的装置。可为晶圆上大量之接点建立大量的电力、接地、以及讯号连接。装置具有允许电路径扇入的匣。分配板具有位于关键位置以提供密集组态之多个介面。介面经由可挠性附件连接至第一连接器模组之阵列。第一连接器模组之每一个可独立地连接至多个第二连接器模组之个别一个，藉此减少在装置之框架上的应力。本装置另外之特征包括活塞，其允许紧密控制由端子施加至晶圆之接点上的力。