| 摘要 |
[课题]本发明提供一种可以一边保持真空容器之真空状态一边更换炉壁之炉壁机构及成膜装置。[解决手段]炉壁机构2是用于将固体成膜材料Ma保持于成膜装置1之真空容器10内部之材料保持位置B上的机构。炉壁机构2具有贯穿于上下方向且用于导入固形成膜材料Ma之导入孔21a之多个炉壁构件21；设置于真空容器10内部以载置多个炉壁构件21，并且将多个炉壁构件21依次移动至材料保持位置B的下方之炉壁载置部22；设置于材料保持位置B的下方成可上下方向移动，而且将载置于炉壁载置部22上面之炉壁构件21向上推至材料保持位置R之炉壁上推构件23a；以及设置于材料保持位置B之下方成可以上下方向移动俾将固形成膜材料Ma推向上方之材料上推构件24a。 |
