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经营范围
发明名称
剥除剂
摘要
本发明提供用于从基材,例如电子装置移除聚合性材料的组成物及方法。这些组成物及方法特别适用于在电浆蚀刻制程之后,从电子装置移除聚合物残余物。
申请公布号
TW200710610
申请公布日期
2007.03.16
申请号
TW095126667
申请日期
2006.07.21
申请人
罗门哈斯电子材料有限公司
发明人
布兰纳;欧杰尔;罗丘斯基
分类号
G03F7/42(2006.01);C09K13/00(2006.01);H01L21/306(2006.01)
主分类号
G03F7/42(2006.01)
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
美国
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