发明名称 剥除剂
摘要 本发明提供用于从基材,例如电子装置移除聚合性材料的组成物及方法。这些组成物及方法特别适用于在电浆蚀刻制程之后,从电子装置移除聚合物残余物。
申请公布号 TW200710610 申请公布日期 2007.03.16
申请号 TW095126667 申请日期 2006.07.21
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 布兰纳;欧杰尔;罗丘斯基
分类号 G03F7/42(2006.01);C09K13/00(2006.01);H01L21/306(2006.01) 主分类号 G03F7/42(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国