用于可叠架的半导体测试系统的可携式操作器

摘要

本发明提供一种用来将一测试头相对于一探测器或其它参考物定位的操作器。该操作器具有一机架(frame)；一连杆组其耦接至该机架并包括第一及第二连杆其具有绕着各自的枢转点转动的自由度及一第三连杆其耦接至该第一及第二连杆使得该第三连杆具有平移及转动的运动自由度；及一转接器其耦接至该第三连杆且被建构来附装至一测试头。本发明亦提供一种控制该操作器的方法。