发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR VHF PLASMA PROCESSING WITH LOAD MISMATCH RELIABILITY AND STABILITY
摘要
申请公布号 KR20070030964(A) 申请公布日期 2007.03.16
申请号 KR20077004930 申请日期 2007.02.28
申请人 发明人
分类号 H05H1/00;H05H1/18;H05H1/46 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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