发明名称 NITRIDE SINTERED COMPACT AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要 <p>Provided are a novel insulating material high both in thermal con 2 O 3 in an inert atmosphere containing a specific quantity of carbon vapor, or by burning a coat of a nitride</p>
申请公布号 KR20070030820(A) 申请公布日期 2007.03.16
申请号 KR20067025748 申请日期 2005.06.20
申请人 发明人
分类号 C04B35/58;C04B35/581;C04B35/64;C04B41/87;H01L33/48 主分类号 C04B35/58
代理机构 代理人
主权项
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