| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR MUSTERBILDUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60124704(T2) |
申请公布日期 |
2007.03.15 |
| 申请号 |
DE20016024704T |
申请日期 |
2001.05.08 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
HATTA, YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/336;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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