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Marke und Verfahren für integrierte Schaltungsfertigung mit polarisierter Lichtlithografie. Eine bevorzugte Ausführungsform umfasst eine erste Vielzahl von Elementen, beinhaltet von einem ersten Komponententyp, worin der erste Komponententyp eine erste Polarisation hat, und eine zweite Vielzahl von Elementen, beinhaltet von einem zweiten Komponententyp, worin der zweite Komponententyp eine zweite Polarisation hat, worin die erste Polarisation und die zweite Polarisation orthogonal sind, worin benachbarte Elemente von verschiedenen Komponententypen sind. Die Ausrichtmarken können verwendet werden in einem intensitätsbasierten oder einem diffraktionsbasierten Ausrichtungsprozess.
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