AFM cantilever having FET structure of high aspect ratio for use in liquid and method for fabricating the same,申请号KR20040049780-传众专利搜索

发明名称	AFM cantilever having FET structure of high aspect ratio for use in liquid and method for fabricating the same
摘要
申请公布号	KR100695623(B1)	申请公布日期	2007.03.15
申请号	KR20040049780	申请日期	2004.06.29
申请人		发明人
分类号	G01Q60/38;H01L21/027;H01L21/31;H01L21/324;H01L29/772	主分类号	G01Q60/38
代理机构		代理人
主权项
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