| 发明名称 |
Verfahren zur Erzeugung einer Abbildung einer Probe in einer teilchen-optischen Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60311371(D1) |
申请公布日期 |
2007.03.15 |
| 申请号 |
DE20036011371 |
申请日期 |
2003.09.01 |
| 申请人 |
FEI CO. |
发明人 |
GEURTS, REMCO THEODORUS JOHANNES PETRUS;HAYLES, MICHAEL FREDERICK |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/305;G01N1/28;G01N1/32;G01N1/42;H01J37/02;H01J37/28;H01J37/317 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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