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发明名称 MEGASCHALLREINIGUNGS- UND TROCKNUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT354175(T) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 AT20020742054T 申请日期 2002.06.12
申请人 AKRION TECHNOLOGIES, INC.;INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 LAUERHAAS, JEFFREY, M.;NICOLOSI JR., THOMAS, J.;MERTENS, PAUL;FYEN, WILLIAM
分类号 B08B3/02;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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