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发明名称 Verfahren zur Wiedergewinnung eines abgetrennten Wafers und zur Wiedergewinnung verwendeter Siliziumwafer
摘要
申请公布号 DE69934271(T2) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 DE1999634271T 申请日期 1999.04.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. 发明人 KUWAHARA, SUSUMU;MITANI, KIYOSHI;AGA, HIROJI;WADA, MASAE
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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