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发明名称 MAGNETRONSPUTTEREINRICHTUNG, ZYLINDERKATHODE UND VERFAHREN ZUR AUFBRINGUNG VON DÜNNEN MEHRKOMPONENTENSCHICHTEN AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT354863(T) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 AT20040018926T 申请日期 2004.08.10
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 LIEHR, MICHAEL, DR.
分类号 (IPC1-7):H01J37/34 主分类号 (IPC1-7):H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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