Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate

摘要

Bei einer Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für unter Reinraumbedingungen zu behandelnde großflächige Werkstücke sind Prozessmodule und Transfermodule vorgesehen und es ist den lagefesten Prozessmodulen jeweils ein Übergabekabel zugeordnet, der im Übergang auf ein anzudockendes Transfermodul ein Absperrglied aufweist, das gleichzeitig Stellglied für ein dem Transfermodul zugeordnetes Ventil bildet.