| 发明名称 |
Vorrichtung zur Reinigung und Inspektion von Retikeln |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60311479(D1) |
申请公布日期 |
2007.03.15 |
| 申请号 |
DE20036011479 |
申请日期 |
2003.07.28 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION INC. |
发明人 |
BLATTNER, JAKOB;FEDERICI, RUDY |
| 分类号 |
B08B5/00;G03F1/00;G03F7/20 |
主分类号 |
B08B5/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
