PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR MIKROLITHOGRAPHISCHE REDUZIERUNG,申请号DE20006028245T-传众专利搜索

发明名称	PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR MIKROLITHOGRAPHISCHE REDUZIERUNG
摘要
申请公布号	DE60028245(T2)	申请公布日期	2007.03.15
申请号	DE20006028245T	申请日期	2000.12.23
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	SHAFER, R.
分类号	G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G02B17/08
代理机构		代理人
主权项
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