发明名称 Wafer-Level-Chip-Size-Package für ein CMOS-Bildsensor-Modul und dazugehöriges Herstellungsverfahren
摘要 Offenbart werden ein Wafer-Level-Chip-Size-Package für ein Bildsensor-Modul und das entsprechende Herstellungsverfahren, insbesondere ein kleinformatiges Bildsensor-Modul, gekennzeichnet durch eine Struktur, bei der ein Glas mit einem I/R-Cut-Off-Filter (Schicht) auf einem Bildsensor-Chip durch eine Polymer-Trennwand angeordnet ist und eine Lotperle auf einer Elektrode auf der Rückseite eines Chips, der durch ein Durchgangsloch auf jeder I/O-Elektrode eines Bildsensor-Chips ausgebildet ist, sowie ein Wafer-Level-Chip-Size-Package zur Herstellung des Moduls. Das Herstellungsverfahren für ein Wafer-Level-Chip-Size-Package für ein Bildsensor-Modul umfasst: DOLLAR A Verbinden eines Bildsensor-Wafer-Glases mit einem Glas-Wafer zur Herausbildung eines Durchgangslochs auf dem Bildsensor-Wafer, Füllen des Durchgangslochs im Bildsensor-Wafer mit einem Erregermaterial; und Herausbilden einer Lotperle am Ende des Erregermaterials zur Verbindung mit dem Schaltkreis, der durch das PCB-Substrat geschaffen wird. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden für das Wafer-Verfahren und das Metall-Abscheideverfahren bereits vorhandene Ausrüstungen verwendet. Dadurch ist es möglich, kostengünstige Wafer-Level-Chip-Size-Packages und ein Bildsensor-Modul mit einer minimalere Schichtdicke in einer Richtung der Schichtdicke als bereits vorhandene Wafer-Level-Chip-Size-Packages für Bildsensoren herzustellen, die jedoch die gleiche Fläche wie ein Bildsensor-Chip aufweisen.
申请公布号 DE102006040623(A1) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 DE20061040623 申请日期 2006.08.30
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE & TECHNOLOGY 发明人 PAIK, KYUNG-WOOK;YIM, MYUNG-JIN;SON, HO-YOUNG
分类号 H01L27/146;H01L23/02;H01L27/14;H04N5/335 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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