VORRICHTUNG ZUR WAFERVORBEREITUNG,申请号DE20016026254-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUR WAFERVORBEREITUNG
摘要
申请公布号	DE60126254(D1)	申请公布日期	2007.03.15
申请号	DE20016026254	申请日期	2001.03.29
申请人	LAM RESEARCH CORP.	发明人	JONES, DAVID;FROST, T.;DEWIT, G.
分类号	H01L21/00;H01L21/683;H01L21/304	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
地址