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发明名称 Verfahren zum anisotropen Ätzen von aluminiumhaltigen Substraten
摘要
申请公布号 DE102004022402(B4) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 DE200410022402 申请日期 2004.05.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BACHMANN, JENS
分类号 H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/8242 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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