发明名称 |
Trench-Transistorzelle, Transistoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Transistoranordnung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10239862(B4) |
申请公布日期 |
2007.03.15 |
申请号 |
DE20021039862 |
申请日期 |
2002.08.29 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
PFIRSCH, FRANK;HIRLER, FRANZ;LANTIER, ROBERTA |
分类号 |
H01L21/336;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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