| 发明名称 | 循环式气体溶解水供给装置和该装置的运转方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种循环式气体溶解水供给装置和该装置的运转方法。该装置包括制造特定的气体溶解水的溶解装置(A)；贮存气体溶解水的水槽(B)；将溶解装置(A)和水槽(B)连接的连接配管(C)；送出水槽(B)的贮存水的泵(D)；将水从水槽(B)经过泵(D)和清洗机的分支点，返回到水槽(B)的循环配管(E)；将气体供给水槽(B)的顶部空间的气体配管(F)，上述配管(C)和配管(E)的底端淹没于水槽(B)内的水面之下。通过本发明，可将清洗机未使用的气体溶解水返回到水槽，将溶解于气体溶解水中的特定的气体的浓度维持在一定值以上，将贮存气体溶解水的水槽的顶部空间的特定的气体的浓度保持在较低程度。 | ||
| 申请公布号 | CN1929930A | 申请公布日期 | 2007.03.14 |
| 申请号 | CN200580008074.9 | 申请日期 | 2005.03.14 |
| 申请人 | 栗田工业株式会社 | 发明人 | 床岛裕人;井田纯一;森田博志 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01);B01F1/00(2006.01);C02F1/68(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | B08B3/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种循环式气体溶解水供给装置，该循环式气体溶解水供给装置包括制造特定的气体溶解水的溶解装置(A)；贮存特定的气体溶解水的水槽(B)；将溶解装置(A)和水槽(B)连接的连接配管(C)；将水槽(B)的贮存水送向清洗机的泵(D)；循环配管(E)，该循环配管(E)将水从水槽(B)经过泵(D)和清洗机的分支点，返回到水槽(B)；向水槽(B)的顶部空间供给气体的气体配管(F)，其特征在于连接配管(C)的底端和循环配管(E)的底端淹没于水槽(B)内的水面之下。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||