发明名称 | 碳酰氟的制备 | ||
摘要 | 碳酰氟,其可以用作蚀刻气体,通过在氯的存在下利用光、优选波长≥280nm的光进行氯二氟甲烷或三氟甲烷的光化学氧化来制备。 | ||
申请公布号 | CN1930081A | 申请公布日期 | 2007.03.14 |
申请号 | CN200580007413.1 | 申请日期 | 2005.02.09 |
申请人 | 苏威氟有限公司 | 发明人 | 马克斯·布劳恩;约翰内斯·艾歇尔 |
分类号 | C01B31/28(2006.01) | 主分类号 | C01B31/28(2006.01) |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾晋伟;刘继富 |
主权项 | 1.通过利用氧对CHClF2或CHF3进行光氧化来制备C(O)F2的方法。 | ||
地址 | 德国汉诺威 |