发明名称 碳酰氟的制备
摘要 碳酰氟,其可以用作蚀刻气体,通过在氯的存在下利用光、优选波长≥280nm的光进行氯二氟甲烷或三氟甲烷的光化学氧化来制备。
申请公布号 CN1930081A 申请公布日期 2007.03.14
申请号 CN200580007413.1 申请日期 2005.02.09
申请人 苏威氟有限公司 发明人 马克斯·布劳恩;约翰内斯·艾歇尔
分类号 C01B31/28(2006.01) 主分类号 C01B31/28(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 顾晋伟;刘继富
主权项 1.通过利用氧对CHClF2或CHF3进行光氧化来制备C(O)F2的方法。
地址 德国汉诺威