| 发明名称 |
Method for manufacturing compound semiconductor substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2422489(B) |
申请公布日期 |
2007.03.14 |
| 申请号 |
GB20060009682 |
申请日期 |
2004.10.25 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED |
发明人 |
MASAHIKO HATO;YOSHINOBU ONO;KAZUMASA UEDA |
| 分类号 |
H01L21/331;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/329;H01L21/335;H01L29/20;H01L29/737 |
主分类号 |
H01L21/331 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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