化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，它属于一种壁冷式化学气相沉积高温炉用的夹套式水冷炉壁。本发明主要是解决现有炉壁存在的冷却效果差、容易造成局部过热、温度不均匀的技术难点。本发明为解决上述技术难点而采用的技术方案是：化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体和内壳体构成的夹套炉壁，其中：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有若干条隔板，隔板的间距为50～100mm；两隔板间上下相错50～100mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。本发明具有冷却效果好、炉壁温度均匀和能防止冷却水倒流等优点。

主权项

1、一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体和内壳体构成的夹套炉壁，其特征是：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有若干条隔板，隔板的间距为50～100mm；两隔板间上下相错50～100mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。