发明名称 Silicon thin film transistor and manufacturing method of gate insulator and the same adopting the method
摘要
申请公布号 KR100695154(B1) 申请公布日期 2007.03.14
申请号 KR20050052725 申请日期 2005.06.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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