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发明名称
摘要
申请公布号 JP3892150(B2) 申请公布日期 2007.03.14
申请号 JP19980197316 申请日期 1998.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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