| 发明名称 | 搬送室、基板处理装置和基板异常的检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够对大型FPD基板在搬送室内的位置偏移和缺口等异常可靠地进行检测的基板处理装置和一种基板异常的检测方法。将基板(S)载置在搬送装置(50)的滑动拾取器(513)上，从搬送室(20)内经过闸门开口(22d)向处理腔室(10b)搬入时，由左右配置的一对传感器(70、70)向基板(S)两端部附近的虚线(A、B)表示的部位照射光线，根据其反射率或透过率，对基板(S)的位置偏移和缺陷等进行检测。 | ||
| 申请公布号 | CN1929108A | 申请公布日期 | 2007.03.14 |
| 申请号 | CN200610128960.1 | 申请日期 | 2006.09.05 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 冈部星儿;末木英人 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/66(2006.01);B65G49/06(2006.01);G01D5/34(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种搬送室，与对矩形基板进行规定处理的处理室邻接配置，具有向该处理室搬送基板的搬送装置，其特征在于，包括：搬入搬出由所述搬送装置搬送的基板的开口部；与所述开口部对应，在其附近以比基板的宽度窄的间隔配置的一对光学传感器。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||