发明名称 |
硅片低温直接键合方法 |
摘要 |
硅片低温直接键合方法,属半导体直接键合领域。现有技术处理过的硅片仍需450℃以上的热处理,而高温会改变硅片的杂质分布,热膨胀会带来应力,损伤硅片上的微细结构,有IC存在并有铝引线时,温度超过铝硅共晶点引起器件失效。本发明表面处理过程为:先将系统抽成真空,然后充入等离子前体对硅片进行处理:等离子前体为纯CF<SUB>4</SUB>气体或体积比为100∶1~1∶20的CF<SUB>4</SUB>与O<SUB>2</SUB>的混合气体,处理时间为5~20分钟,温度为20~300℃,电源功率密度控制在2.5~10W/Cm<SUP>2</SUP>。可使表面层原子处于高能量状态,提高表面层吸附的OH<SUP>-</SUP>的能力,对硅片进行抛光,提高硅片的表面质量,从而提高贴合的效果。在100~300℃的热处理温度下,获得较高的键合质量,减轻了对硅片上杂质分布及微细结构的影响。 |
申请公布号 |
CN1305110C |
申请公布日期 |
2007.03.14 |
申请号 |
CN200410074342.4 |
申请日期 |
2004.09.10 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
沈光地;徐晨;杨道虹;霍文晓;赵林林;赵慧;高国;陈建新 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);B81B5/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张慧 |
主权项 |
1、硅片低温直接键合方法,由以下步骤组成:1)、清洗硅片表面,并去除表面氧化物;2)、将上述清洗干净的硅片置于等离子体处理系统中进行表面处理;3)、将表面处理过的硅片在去离子水中浸泡后,在室温下干燥并贴合;4)、将贴合好的硅片在温度为80~180℃的环境中干燥3~5小时;5)、将硅片在O2或N2环境中进行热处理;其特征在于,步骤2)中的表面处理过程为:先将系统抽成真空,然后充入等离子前体对硅片进行处理:等离子前体为纯CF4气体或体积比为100∶1~1∶20的CF4与O2的混合气体,等离子体处理的时间为5~20分钟,处理温度为20~300℃,电源功率密度控制在2.5~10W/Cm2;步骤5)中的热处理:温度为100~300℃,时间为12~48小时。 |
地址 |
100022北京市朝阳区平乐园100号 |