具有电绝缘可动部分的静电微致动器和相关的驱动电路

摘要

一种双向静电旋转微致动器，具有两组固定电极，一组用于逆时针驱动该微致动器，另一组用于顺时针驱动它，还具有可旋转框架，它具有连接至该可旋转框架外壁的可动电极，该可动电极在固定电极之间交错。在连接有可动电极的外壁和框架的剩余部分之间设置绝缘材料层，从而可动电极被电隔离。该框架保持为接地电位，可动电极保持在固定的非零电位上。通过给一组固定电极施加正或者负的电压而给另一组施加相反电压，同时保持可动电极在固定的非零电压上，可以驱动该微致动器。该微致动器可以用作磁盘驱动器中的辅助致动器，用于精确定位磁头。

主权项

1.一种磁盘驱动器，包括磁记录盘，具有多个数据磁道；读/写头，用于从磁记录盘中读出数据和向其中写入数据；主致动器，用于将该读/写头粗定位在所选择的磁道上；以及静电辅助致动器，连接至读/写头以及主致动器，用于在所选择的磁道上精定位该读/写头，该辅助致动器包括：连接在主致动器上的衬底；多个导电固定电极，在衬底上形成；以及可动部件，由导电材料形成，并且具有(a)连接至衬底并且支撑该读/写头的框架，以及(b)多个导电可动电极，框架和所支撑的读/写头连接至该可动电极，但是与其电隔离。