| 摘要 |
<p>Trykksensorsystem som innbefatter en halvledende membranelektrode som ligger over et hulrom i en halvlederbrikke, med membranens midtpunkt festet til et platå som strekker seg oppover fra hulrommet. En andre elektrode er realisert ved hjelp av en sterkt dopet forhøyet ring mellom platået og ytterkanten av brikken ved ringen der membranen har maksimal utbøyning. Den forhøyede ringelektroden er sterkt dopet med en polaritet, med lett doping nær foten av det forhøyede arealet, og resten av hulrommet er sterkt dopet med den motsatte polaritet. Plottet av linearitetsfeil mot bredden av ringelektroden har et minimum, og bredden av ringelektroden og relaterte utførelsestrekk velges for å være i overensstemmelse med linearitetsfunksjonens minimumspunkt. Referansekondensatoren er buefonnet i konfigurasjon og strekker seg delvis rundt og i umiddelbar nærhet til sensormembranen.</p> |
