发明名称 感光性组合物
摘要 本发明提供一种可形成具有良好的直线性、难以剥离、残渣少的黑色矩阵图样图案的感光性组成组合物。作为感光性组成组合物的光聚合起始引发剂,采用具有通式(1)所示的芴结构和苯酰基的肟系化合物。另外,发现在将通式(1)中的苯酰基部分作为膨松基时,显影后的加热可抑制升华物的产生。
申请公布号 CN1928716A 申请公布日期 2007.03.14
申请号 CN200610129175.8 申请日期 2006.09.04
申请人 东京应化工业株式会社 发明人 信太胜;近藤满;内河喜代司
分类号 G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 上海新高专利商标代理有限公司 代理人 楼仙英
主权项 1.一种感光性组合物,含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、着色剂,作为上述光聚合引发剂,含有下述通式(1)所示的化合物,<img file="A2006101291750002C1.GIF" wi="1685" he="548" />式中,A表示-R<sub>1</sub>、-OR<sub>1</sub>、-COR<sub>1</sub>、-SR<sub>1</sub>、或-NR<sub>1</sub>R<sub>2</sub>,B表示-R<sub>1</sub>、-OR<sub>1</sub>、-COR<sub>1</sub>、-SR<sub>1</sub>、-CONR<sub>1</sub>R<sub>2</sub>或-CN,G表示氢原子、-R<sub>1</sub>、-OR<sub>1</sub>、-COR<sub>1</sub>、-SR<sub>1</sub>、或-NR<sub>1</sub>R<sub>2</sub>,上述R<sub>1</sub>及R<sub>2</sub>分别独立地表示烷基、芳基、芳烷基或杂环基,上述基团可以被卤素原子或杂环基中的至少任一种取代,其中,烷基及芳烷基的亚烷基部分可被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键中断,另外,R<sub>1</sub>及R<sub>2</sub>也可以一起形成环,D表示同样的或不同的卤素原子或碳原子数为1或1以上、20或20以下可含杂原子的烃基,E表示同样的或不同的碳原子数为1至20的烷基、碳原子数为1至20的烷氧基、碳原子数为3至20的环烷基、-OR<sub>3</sub>、-NR<sub>4</sub>R<sub>5</sub>,其中,R<sub>3</sub>表示碳原子数为1至20的烷基(部分碳原子可以被杂原子取代)、碳原子数为3至20的环烷基(部分碳原子可以被杂原子取代),R<sub>4</sub>、R<sub>5</sub>表示同样的或不同的碳原子数为1至20的烷基、碳原子数为2至20的烷氧基羰基、或R<sub>4</sub>和R<sub>5</sub>也可以一起形成碳原子数为3到20的环,在形成环时,部分碳原子可以被杂原子取代,而且,E中的至少一种为分子量在30或30以上的基团,m为0到5的整数、n为0到3的整数,并满足m+n>1。
地址 日本神奈川