| 发明名称 | 一种光阻显影液 | ||
| 摘要 | 一种光阻显影液含有碱性化合物、非离子性表面活性剂和溶剂，所述非离子性表面活性剂为具有结构式的聚氧乙烯苯基醚，式中R<SUB>1</SUB>、R<SUB>2</SUB>、R<SUB>3</SUB>、R<SUB>4</SUB>、R<SUB>5</SUB>分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基、卤素；R<SUB>6</SUB>选自氢、乙酰基、烷基、芳基；n为6－23的整数；其中，所述非离子表面活性剂包括至少一种n为15－23的聚氧乙烯苯基醚和至少一种n为6－14的聚氧乙烯苯基醚。本发明的显影液无需加入消泡剂即可获得非常好的显影性、消泡性、分散稳定性和操作温度，并且图像无残渣。 | ||
| 申请公布号 | CN1928724A | 申请公布日期 | 2007.03.14 |
| 申请号 | CN200510098603.0 | 申请日期 | 2005.09.05 |
| 申请人 | 比亚迪股份有限公司 | 发明人 | 金启明;陈学刚;董俊卿;宫清;何志奇 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/32(2006.01) |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王凤桐;周建秋 |
| 主权项 | 1、一种光阻显影液，该显影液含有碱性化合物、非离子性表面活性剂和溶剂，所述非离子性表面活性剂为具有下述结构式(I)的聚氧乙烯苯基醚，<img file="A2005100986030002C1.GIF" wi="842" he="360" />式(I)中R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>、R<sub>5</sub>分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基、卤素；R<sub>6</sub>选自氢、乙酰基、烷基、芳基；n为6-23的整数；其特征在于，所述非离子表面活性剂包括至少一种n为15-23的聚氧乙烯苯基醚和至少一种n为6-14的聚氧乙烯苯基醚。 | ||
| 地址 | 518119广东省深圳市龙岗区葵涌镇延安路比亚迪工业园 | ||