发明名称 Method of Manufacturing for Memory Device comprising Silicon Rich Silicon Oxide Layer
摘要
申请公布号 KR100695140(B1) 申请公布日期 2007.03.14
申请号 KR20050011733 申请日期 2005.02.12
申请人 发明人
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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