| 主权项 |
1.一种喷雾洗净装置,将由冷冻装置冷却的喷雾洗 净生成气体,从喷雾洗净生成喷嘴朝洗净室内吹出 形成喷雾洗净,将该喷雾洗净与被洗净物的表面冲 突,来洗净被洗净物,其特征为: 具备在前述冷冻装置运转中可中断前述喷雾生成 气体的供给的待机状态用的阀。 2.如申请专利范围第1项的喷雾洗净装置,其中,前 述阀,是氩气体供给阀、氮气体供给阀、混合气体 供给阀、排泄气体阀、洗净室排气阀的至少任一 。 3.一种喷雾洗净装置的控制方法,将由冷冻装置冷 却的喷雾洗净生成气体,从喷雾洗净生成喷嘴朝洗 净室内吹出形成喷雾洗净,将该喷雾洗净与被洗净 物的表面冲突,来洗净被洗净物,其特征为: 将由喷雾所产生的洗净中断时,藉由将供中断前述 喷雾生成气体的供给用的阀关闭,在冷冻装置运转 中,中断喷雾生成气体的供给成为待机状态, 当将由喷雾所产生的洗净再开时,藉由将前述阀打 开,将喷雾生成气体的供给再开而成为喷雾洗净状 态。 4.如申请专利范围第3项的喷雾洗净装置的控制方 法,其中,在前述待机状态中,藉由关闭前述阀,只冷 却热交换机,使喷雾生成气体不流通。 5.如申请专利范围第3项的喷雾洗净装置的控制方 法,其中,从喷雾停止状态往前述待机状态或是喷 雾开(On)移行时,是首先将冷冻机的冷排温度加热 至比喷雾结构元素的气化温度高温后,开始冷冻机 的运转。 6.如申请专利范围第4项的喷雾洗净装置的控制方 法,其中,在前述待机状态中,将冷冻机的冷排温度 设定为,喷雾结构元素的三重点温度以上,预定温 度以下。 图式简单说明: 第1图,是显示习知的喷雾洗净装置的结构例的管 路图 第2图,是同平面图 第3图,是显示同习知的状态迁移的线图 第4图,是显示本发明的喷雾洗净的状态迁移的线 图 第5图,是显示本发明的喷雾洗净装置的实施例的 整体结构的管路图 第6图,是显示前述实施例的喷雾洗净生成的程序 的流动图 第7图,是显示相同的喷雾洗净生成停止的程序的 流动图 |
